气体质量流量计CMS系列是检测部分采用本公司独自开发的感热式流速传感器“MicroFlow™传感器”的质量流量计。利用微型机械技术制造的超小型流速传感器和高度的集成电路设计技术的结合，以低成本实现了以前达不到的高精度和宽量程。并且，易于使用，可靠性高。

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